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ICP-MS因厂商、品牌的不同，其故障与排除方式略有不同，但有些故障及解决办法却有相似之处，以下是10个常见故障与排除要点，小编分享给大家。01灵敏度偏低a、调用的方法文件是否正确；
02标准溶液精密度差
03氧化物较高
04双电荷离子偏高
05本底值偏高
06线性不好
07点不着火
08真空系统真空度达不到
09点火后水温偏高
010仪器无法联机
b、调试溶液是否正确；
c、进样管、雾化器连接是否正常，有无漏气、堵塞现象；
d、采样锥、截取锥、炬管是否出现污渍，需要清洗；
e、依次对以下项目作优化调试：雾化器流量、透镜电压或自动离子透镜、X-Y调节、双检测器优化、质量轴校准；
f、完成d项后，需要做仪器性能指标的全套优化项目，以获得其最佳校准值。
利用思维导图一目了然解决问题。
a、蠕动泵管连接是否正常，有无漏气、堵塞现象；
b、雾化器的雾化效率情况，检查雾化气流的畅通性和均匀性；
c、炬管是否较长时间未清洗，存在污渍。
a、清洁雾室和雾化器，确保雾化气流畅通无阻；
b、清洗采样锥和截取锥，并观察其孔径有无变形，必要时更换。
a、检查调试溶液是否被污染；
b、采样锥和截取锥的O形圈变形，引起漏气。
a、真空度是否较前期偏差；
b、近期是否拆卸过真空系统，排除安装时可能存在的泄漏点；
c、考虑调节电子参数。
a、检查空白溶液、标准溶液是否正常，排除污染；
b、重新优化双检测器。
a、RF电缆线连接是否正常；
b、氩气压力是否达到适用范围；
c、真空度是否达到点火压力要求；
d、炬管连接处密闭性能是否正常，检查O形圈，避免变形和松动；
e、氩气纯度及气路连接是否达到要求；
f、雾室废液排出是否正常，避免堵塞；
g、检查点火线圈的清洁度，清洁污渍。
a．点火后真空系统真空度达不到，检查采样锥和截取锥O形圈是否漏气；
b．点火前真空系统真空度变差，提示真空泵需要保养。
a、冷却循环水设备的电源未开；
b、冷却水温度未设置在正常值范围；
c、冷却循环水设备制冷效果欠佳(可能漏水)；
d、水路管道堵塞或者漏水；
e、冷却循环水设备的滤网堵塞；
f、冷却循环水设备故障。
a、连接电缆线是否脱落；
b、关闭等离子体、真空和仪器主机，重启计算机。
ICP– MS 属精密仪器， 维修及日常维护时必须严格遵照仪器使用规程进行。正确的使用和维护保养仪器不但能够提高分析结果的准确性， 还能够延长仪器的使用寿命， 减少故障率， 保障分析检测工作的顺利进行。
